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5N级三氟化硼

TIME：2021.04.15

BF3≥99.999%

CO＜0.5ppm

CO2＜0.5ppm

N2＜1ppm

O2＜3ppm

SiF4＜2ppm

SO2＜2ppm

硫酸盐（Sulfates）＜0.5ppm

THC（以甲烷计）＜0.5ppm

5n


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